考慮到清洗液的物理特性對超聲清洗的影響，其中蒸汽壓、表面張力、黏度以及密度是比較顯著的影響因素。溫度也能影響這些因素，所以它也會影響空化作用的效率。
超聲波清洗機的清洗需要在清洗液中進行，水性系統通常由敞口槽組成，工件浸沒其中，而復雜的系統會由多個槽組成，并配備循環(huán)過濾系統、沖淋槽、干燥槽以及其它附件。
對于比較難以用清水環(huán)境下清洗干凈的工件，就需要使用化學藥劑了，一般常見的就是超聲波汽相除油脂清洗機，常配備廢液連續(xù)回收裝置。超聲波汽相除油脂過程是由溶劑蒸發(fā)槽和超聲浸洗槽組成的集成式多槽系統完成的。在熱的溶劑蒸汽和超聲激蕩共同作用下，油、脂、蠟以及其他溶于溶劑的污垢就被除去。
